センサ・マイクロマシン工学

Author(s)

• 藤田, 博之 フジタ, ヒロユキ

Bibliographic Information

センサ・マイクロマシン工学

藤田博之編著

（EE text）

オーム社, 2005.10

Other Title

センサマイクロマシン工学

Title Transcription

センサ マイクロマシン コウガク

Note

参考文献: p199-204

Description and Table of Contents

Table of Contents

• １章　本書の構成と使い方
• ２章　センサ・マイクロマシンの概要
• ３章　微細構造製作プロセス技術
• ４章　物理センサ
• ５章　マイクロアクチュエータとマイクロマシン
• ６章　化学センサとマイクロ化学システム

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Details

• NCID: BA73931950
• ISBN:
  • 9784274201349
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: viii, 209p
• Size: 26cm
• Classification:
  • NDC8 : 501.22
  • NDC9 : 501.22
• Subject Headings:
  • BSH : センサ
  • BSH : マイクロマシン
• Parent Bibliography ID:
  • BA64815675