センサ・マイクロマシン工学
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センサ・マイクロマシン工学
(EE text)
オーム社, 2005.10
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センサマイクロマシン工学
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センサ マイクロマシン コウガク
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参考文献: p199-204
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 1章 本書の構成と使い方
- 2章 センサ・マイクロマシンの概要
- 3章 微細構造製作プロセス技術
- 4章 物理センサ
- 5章 マイクロアクチュエータとマイクロマシン
- 6章 化学センサとマイクロ化学システム
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