プラズマイオンプロセスとその応用

著者

• 電気学会 デンキ ガッカイ
• 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会 デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ

書誌事項

プラズマイオンプロセスとその応用

電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編

オーム社, 2005.10

タイトル読み

プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ

注記

文献:章末

内容説明・目次

内容説明

本書では、プラズマイオンプロセス法にかかわるプラズマ技術、イオン運動の物理、三次元基材に適用する条件などの物理に関する事柄から、生産部品の改質技術、半導体への適用技術などの応用技術も広く扱われている。

目次

• １章　はじめに
• ２章　プラズマの基礎
• ３章　インオシースの基礎
• ４章　プラズマイオンプロセスにおけるプラズマの条件
• ５章　プラズマ源
• ６章　プラズマ計測
• ７章　モデリング
• ８章　機能性薄膜の生成
• ９章　半導体への応用

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA73952112
• ISBN:
  • 4274201236
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xi, 279p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.1
  • NDC9 : 549.1
• 件名:
  • BSH : イオンビーム加工
  • BSH : プラズマ物理学