機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理

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機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理

近藤英一著

共立出版, 2005.10

Other Title

機械材料系のためのマイクロナノ加工の原理

マイクロ・ナノ加工の原理 : 機械・材料系のための

Title Transcription

キカイ ザイリョウケイ ノ タメ ノ マイクロ ナノ カコウ ノ ゲンリ

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Note

参考文献: p[213]

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • 第１章　導入
  • 第２章　真空と気体分子運動論
  • 第３章　プラズマの基礎
  • 第４章　物理蒸着法（ＰＶＤ）
  • 第５章　薄膜の形成過程
  • 第６章　エッチング
  • 第７章　フォトリソグラフィ
  • 付録Ａ　基礎定数表と真空の単位
  • 付録Ｂ　材料の科学についてのノート
  • 付録Ｃ　分布関数とマックスウェル—ボルツマン分布
  • 付録Ｄ　対数目盛と対数グラフ

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Details

  • NCID
    BA74074754
  • ISBN
    • 4320081544
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    ix, 226p
  • Size
    21cm
  • Classification
  • Subject Headings
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