はじめての薄膜作製技術

Author(s)

• 草野, 英二 (工学) クサノ, エイジ

Bibliographic Information

はじめての薄膜作製技術

草野英二著

（ビギナーズブックス, 40）

工業調査会, 2006.3

Title Transcription

ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ

Description and Table of Contents

Description

コンピュータからメガネレンズまで、薄膜作製技術は欠かせることのできない基盤技術の１つである。にもかかわらず、学問的には体系的に理解されていず、現場の経験と勘に負うところが大きい。デバイス製造の現場においては、日々の問題を解決しつつ、薄膜作製の手法をできるだけ学術的理解に基づいたものとすることが求められている。

Table of Contents

• 第１章　薄膜とは
• 第２章　薄膜作製技術の基礎
• 第３章　真空蒸着法
• 第４章　スパッタリング法
• 第５章　化学気相成長法
• 第６章　薄膜の評価技術
• 第７章　薄膜作製技術の応用

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Details

• NCID: BA76159723
• ISBN:
  • 4769312520
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 191p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• Subject Headings:
  • BSH : 薄膜
• Parent Bibliography ID:
  • BA38795526