はじめての薄膜作製技術
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はじめての薄膜作製技術
(ビギナーズブックス, 40)
工業調査会, 2006.3
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ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ
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Description and Table of Contents
Description
コンピュータからメガネレンズまで、薄膜作製技術は欠かせることのできない基盤技術の1つである。にもかかわらず、学問的には体系的に理解されていず、現場の経験と勘に負うところが大きい。デバイス製造の現場においては、日々の問題を解決しつつ、薄膜作製の手法をできるだけ学術的理解に基づいたものとすることが求められている。
Table of Contents
- 第1章 薄膜とは
- 第2章 薄膜作製技術の基礎
- 第3章 真空蒸着法
- 第4章 スパッタリング法
- 第5章 化学気相成長法
- 第6章 薄膜の評価技術
- 第7章 薄膜作製技術の応用
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