現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

著者

• 小島, 啓安 コジマ, ヒロヤス

書誌事項

現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

小島啓安著

日刊工業新聞社, 2008.8

タイトル別名

現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

タイトル読み

ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス

注記

参考文献: p372-380

内容説明・目次

目次

• 第１部　基礎編（はじめに；スパッタリングの基礎知識；いろいろなスパッタ法；反応性高速スパッタ法）
• 第２部　実践編（ターゲットとカソード；アーキング対策とアノード；コンポーネント；膜質）
• 第３部　応用編（装置；測定；応用）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA87015099
• ISBN:
  • 9784526061196
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: ix, 384p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 薄膜