現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
著者
書誌事項
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
日刊工業新聞社, 2008.8
- タイトル別名
-
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
- タイトル読み
-
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
大学図書館所蔵 件 / 全78件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
参考文献: p372-380
内容説明・目次
目次
- 第1部 基礎編(はじめに;スパッタリングの基礎知識;いろいろなスパッタ法;反応性高速スパッタ法)
- 第2部 実践編(ターゲットとカソード;アーキング対策とアノード;コンポーネント;膜質)
- 第3部 応用編(装置;測定;応用)
「BOOKデータベース」 より