マイクロプラズマ : 基礎と応用
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マイクロプラズマ : 基礎と応用
オーム社, 2009.3
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マイクロプラズマ
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マイクロプラズマ : キソ ト オウヨウ
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その他の編著者: 石井彰三, 寺嶋和夫, 白藤立
参考文献: 各章末
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第１章 序論（マイクロプラズマの定義とその特徴；マイクロプラズマの生成 ほか）
- 第２章 微小空間高密度媒質中での放電プラズマ現象（高密度媒質による特徴；微小性による特徴 ほか）
- 第３章 マイクロプラズマの生成（気体を用いたマイクロ放電によるプラズマ生成技術；液体や固体が関わるマイクロ放電によるプラズマ生成技術 ほか）
- 第４章 マイクロプラズマの診断とシミュレーション（プラズマメータの計測；気相・表面近傍での反応活性種の計測 ほか）
- 第５章 マイクロプラズマの応用（材料プロセス応用；微量化学分析・センサへの応用 ほか）
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