Handbook of silicon based MEMS : materials and technologies

著者

• Lindroos, Veikko
• Tilli, Markku
• Lehto, Ari
• 本岡, 輝昭 モトオカ, テルアキ

書誌事項

Handbook of silicon based MEMS : materials and technologies

by Veikko Lindroos ... [et al.]

（Micro & nano technologies）

William Andrew, 2010

• : hbk

タイトル別名

Handbook of silicon based MEMS : materials & technologies

Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

注記

Other editors: Markku Tilli, Ari Lehto, Teruaki Motooka

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB01469329
• ISBN:
  • 9780815515944
• 出版国コード: ne
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Amsterdam
• ページ数/冊数: xxxii, 636 p.
• 大きさ: 29 cm
• 分類:
  • DC22 : 621.38152
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Microelectromechanical systems -- Materials
  • LCSH : Silicon -- Electric properties
• 親書誌ID:
  • BA86475071