よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : 製造装置の全体を俯瞰する : 技術力の真髄
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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : 製造装置の全体を俯瞰する : 技術力の真髄
(How-nual図解入門)
秀和システム, 2010.5
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図解入門よくわかる : 最新半導体製造装置の基本と仕組み
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : 製造装置の全体を俯瞰する技術力の真髄
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ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカン スル : ギジュツリョク ノ シンズイ
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Description and Table of Contents
Description
製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置まで、豊富なイラストで手に取るようにわかる。
Table of Contents
- 第1章 半導体製造装置を周辺から理解する
- 第2章 洗浄・乾燥装置
- 第3章 イオン注入装置
- 第4章 熱処理装置
- 第5章 リソグラフィー装置
- 第6章 エッチング装置
- 第7章 成膜装置
- 第8章 平坦化(CMP)装置
- 第9章 検査・測定・解析装置
- 第10章 後工程装置
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