プラズマ工学

著者

• 小越, 澄雄 コゴシ, スミオ

書誌事項

プラズマ工学

小越澄雄著

電気書院, 2010.9

タイトル読み

プラズマ コウガク

注記

参考文献: p[161]-164

内容説明・目次

目次

• プラズマとは
• プラズマの発生・維持
• プラズマを記述する方程式とプラズマの特性
• プラズマ内の波
• 拡散とプラズマ密度分布
• プラズマの温度・密度の推定と容量結合形プラズマ源
• 誘導結合形プラズマ源
• 電磁波を用いた高密度プラズマ源
• スパッタリングと直流マグネトロン放電
• プラズマ計測
• 半導体プロセスへの応用
• プラズマの光源としての応用
• 核融合発電への応用
• 大気圧放電とその応用
• 超粒子シミュレーション

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB03460507
• ISBN:
  • 9784485302125
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 168p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 427.6
  • NDC9 : 427.6
• 件名:
  • BSH : プラズマ物理学