「薄膜」のキホン : 原子に迫る超微細・超高密度の世界
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「薄膜」のキホン : 原子に迫る超微細・超高密度の世界
（イチバンやさしい理工系, SBE-006）
ソフトバンククリエイティブ, 2010.9
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「薄膜」のキホン
薄膜のキホン
「薄膜」のキホン : 原子に迫る超微細超高密度の世界
薄膜のキホン : 原子に迫る超微細超高密度の世界
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ハクマク ノ キホン : ゲンシ ニ セマル チョウビサイ チョウコウミツド ノ セカイ
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Note
参考文献: p186-188
タイトルは奥付による
Description and Table of Contents
Description
わが国オリジナルの技術が世界をリードする側面をもつ薄膜技術のすべてにわたり、注目すべきポイントにしぼってやさしく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界が見えてくるのかなどを紹介。
Table of Contents
- 第１章 よい暮らしは美と微から
- 第２章 真空は薄膜づくりの貴重な環境
- 第３章 薄膜をつくろう
- 第４章 薄膜には独特の性質が表れる
- 第５章 基板と薄膜を強く結びつけるための技術
- 第６章 薄膜づくりにはプラズマが大切
- 第７章 古くから用いられた蒸着法
- 第８章 大面積ソース・量産向きのスパッタ法
- 第９章 気体から薄膜をつくる気相成長法
- 第１０章 液体の中で薄膜をつくる—めっき
- 第１１章 薄膜を回路やトランジスタに加工するエッチング
- 第１２章 薄膜を使って前進—その可能性はかぎりない
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