ナノ・インプリント技術によるシリコン薄膜の結晶位置と方位制御の研究
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ナノ・インプリント技術によるシリコン薄膜の結晶位置と方位制御の研究
(科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書, 平成15年度-平成17年度)
[九州工業大学], 2006.3
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ナノ・インプリント ギジュツ ニヨル シリコン ハクマク ノ ケッショウ イチ ト ホウ イセイギョ ノ ケンキュウ
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参考文献あり