マイクロ・ナノ領域の超精密技術

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マイクロ・ナノ領域の超精密技術

日本学術振興会将来加工技術第136委員会編

オーム社, 2011.3

タイトル別名

マイクロナノ領域の超精密技術

タイトル読み

マイクロ ナノ リョウイキ ノ チョウセイミツ ギジュツ

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注記

参考文献: 章末

内容説明・目次

目次

  • 第１章　序論
  • 第２章　超精密微細加工技術
  • 第３章　デバイス創成技術
  • 第４章　洗浄技術
  • 第５章　表面形状評価
  • 第６章　マイクロ・ナノレベルの材料評価技術
  • 付録

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB05402454
  • ISBN
    • 9784274210051
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    ix, 374p
  • 大きさ
    22cm
  • 分類
  • 件名
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