分光エリプソメトリー
著者
書誌事項
分光エリプソメトリー
丸善出版, 2011.5
第2版
- タイトル別名
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Spectroscopic ellipsometry : principles and applications
- タイトル読み
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ブンコウ エリプソメトリー
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注記
「Spectroscopic ellipsometry : principles and applications」(J. Wiley & Sons, 2007年刊) の日本語版
文献あり
内容説明・目次
内容説明
「第２版」では最新の動向を踏まえ、特に有機デバイスの評価に必要な「光学異方性の測定評価」とその解析例を新たに追加。さらに読者がより内容を理解しやすいように全体的に説明を増やし、近年開発された様々なエリプソメトリー装置の原理等についても解説を加えた。
目次
- 第１章 分光エリプソメトリーとは
- 第２章 光学の基礎
- 第３章 偏光
- 第４章 分光エリプソメトリーの原理
- 第５章 データ解析
- 第６章 光学異方性の評価
- 第７章 材料別解析例
- 第８章 分光エリプソメトリーによる実時間観測
「BOOKデータベース」 より
