はじめての半導体プロセス

著者

• 前田, 和夫 マエダ, カズオ

書誌事項

はじめての半導体プロセス

前田和夫著

（現場の即戦力）

技術評論社, 2011.8

タイトル読み

ハジメテ ノ ハンドウタイ プロセス

注記

工業調査会 2000年刊の再刊

参考資料: p281-286

内容説明・目次

目次

• １章　はじめての半導体プロセス
• ２章　半導体デバイスの種類と構造
• ３章　半導体プロセスの技術史
• ４章　半導体プロセスの概要
• ５章　基本プロセス技術
• ６章　複合プロセス技術—プロセスインテグレーション
• ７章　プロセス技術と装置・材料
• ８章　新しいプロセス技術のニーズ
• ９章　これからの半導体プロセス

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB06399628
• ISBN:
  • 9784774147499
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: xii, 291p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BA89795385