Fundamentals of microfabrication and nanotechnology

著者

• Madou, Marc J.

書誌事項

Fundamentals of microfabrication and nanotechnology

Marc J. Madou

CRC Press, c2012

3rd ed

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB06582045
• ISBN:
  • 9780849331800
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: und
• 出版地: Boca Raton
• ページ数/冊数: 3 v.
• 大きさ: 29 cm