Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology

著者

• Madou, Marc J.

書誌事項

Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology

Marc J. Madou

（Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou, v. 1）

CRC Press, c2012

3rd ed

• : hardback

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB06582453
• ISBN:
  • 9781420055115
• LCCN: 2011014406
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton
• ページ数/冊数: xiii, 641 p.
• 大きさ: 29 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
  • DC22 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Nanoelectromechanical systems
  • LCSH : Microfluidics
  • LCSH : Solid state physics
• 親書誌ID:
  • BB06582045