From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications
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From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS : manufacturing techniques and applications
（Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou, v. 3）
CRC Press, c2012
3rd ed
- : hardback
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注記
Includes bibliographical references and index
"This third edition of Fundamentals of microfabrication"--P. [v]
