よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵
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よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵
（How-nual図解入門）
秀和システム, 2011.10
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ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ : リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル : ビサイカ ノ カギ
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文献: p271
Description and Table of Contents
Description
プロセスフローを例にして基礎から発展までの技術が豊富なイラストで手に取るようにわかる。
Table of Contents
- リソグラフィ技術とは引き算のプロセス？
- 光リソグラフィの発展
- 露光技術と装置
- レジスト材料
- レジスト塗布と現像
- マスクとリソグラフィ技術
- ＥＵＶリソグラフィ
- リソグラフィの計測技術
- 多彩なパターニング技術
- ＣＭＯＳロジックプロセス（フロントエンド）
- ａ−Ｓｉ ＴＦＴプロセス
- ａ−Ｓｉ太陽電池プロセス
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