高密度プラズマPVDによる次世代超硬質薄膜合成

著者

• 三宅, 正司 ミヤケ, ショウジ

書誌事項

高密度プラズマPVDによる次世代超硬質薄膜合成

研究代表者 三宅正司

（科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書, 平成9年度～平成11年度）

三宅正司, 2001.2

タイトル別名

平成9年度～平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

タイトル読み

コウミツド プラズマ PVD ニ ヨル ジ セダイ チョウコウシツ ハクマク ゴウセイ

注記

課題番号: 09480091

研究分担者: 巻野勇喜雄, 節原裕一, 庄司多津男

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB10518050
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [茨木]
• ページ数/冊数: 78p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA31388455