はじめての薄膜作製技術

著者

• 草野, 英二 (工学) クサノ, エイジ

書誌事項

はじめての薄膜作製技術

草野英二著

森北出版, 2012.11

第2版

タイトル別名

薄膜作製技術 : はじめての

タイトル読み

ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ

注記

初版(工業調査会 , 2006)に加筆訂正を加えて再出版したもの

参考文献: p155-158

内容説明・目次

内容説明

薄膜特有の物性／プラズマ物理の基礎／応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。

目次

• 第１章　薄膜とは
• 第２章　薄膜作製技術の基礎
• 第３章　真空蒸着法
• 第４章　スパッタリング法
• 第５章　化学気相成長法
• 第６章　薄膜の評価技術
• 第７章　薄膜作製技術の応用

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BB1085822X
• ISBN:
  • 9784627774520
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vii, 160p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 薄膜