ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

著者

• 表面技術協会 ヒョウメン ギジュツ キョウカイ

書誌事項

ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

表面技術協会編

コロナ社, 2013.5

タイトル別名

Introduction to dry processing for surface finishing and thin film coating

ドライプロセスによる表面処理薄膜形成の基礎

タイトル読み

ドライ プロセス ニヨル ヒョウメン ショリ ハクマク ケイセイ ノ キソ

注記

引用・参考文献: p[186]-195

内容説明・目次

目次

• １　ドライプロセスとプラズマ（表面処理；ドライプロセスと真空　ほか）
• ２　真空およびプラズマ（真空；プラズマ　ほか）
• ３　ドライプロセスによる表面処理と薄膜形成（真空蒸着；イオンプレーティング　ほか）
• ４　分析と評価（膜厚測定；表面分析　ほか）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB12458539
• ISBN:
  • 9784339046311
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vi, 198p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 566.78
  • NDC9 : 566.78
  • NDC9 : 566.7
• 件名:
  • BSH : めっき
  • NDLSH : 金属表面処理
  • NDLSH : 薄膜
  • NDLSH : 真空蒸着