プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

Author(s)

• プラズマ・核融合学会 プラズマ カクユウゴウ ガッカイ

Bibliographic Information

プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

プラズマ・核融合学会編

森北出版, 2017.1

Other Title

プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製加工のためのアトムテクノロジー

Title Transcription

プラズマ プロセス ギジュツ : ナノザイリョウ サクセイ・カコウ ノタメノ アトム テクノロジー

Note

文献: 各章末

Description and Table of Contents

Description

最先端のプラズマ応用技術を解説！基礎理論から各種の応用事例、計測・評価技術まで。

Table of Contents

• 第１章　プラズマ技術の基礎
• 第２章　プラズマナノプロセスの物理的基礎
• 第３章　プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎
• 第４章　ナノエッチング技術
• 第５章　ナノ材料の基板成長と構造制御
• 第６章　ナノ粒子の気相合成
• 第７章　計測技術とプロセス解析

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Details

• NCID: BB22938144
• ISBN:
  • 9784627775619
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: vii, 273p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDLC : M213
  • NDC9 : 501.4
• Subject Headings:
  • BSH : 材料科学
  • BSH : プラズマ物理学
  • NDLSH : 工業材料
  • NDLSH : プラズマ
  • NDLSH : ナノテクノロジー