酸化物薄膜・接合・超格子 : 界面物性と電子デバイス応用

著者

• 澤, 彰仁 サワ, アキヒト

書誌事項

酸化物薄膜・接合・超格子 : 界面物性と電子デバイス応用

澤彰仁著

（物質・材料テキストシリーズ / 藤原毅夫, 藤森淳, 勝藤拓郎監修）

内田老鶴圃, 2017.4

タイトル別名

酸化物薄膜接合超格子 : 界面物性と電子デバイス応用

タイトル読み

サンカブツ ハクマク・セツゴウ・チョウコウシ : カイメン ブッセイ ト デンシ デバイス オウヨウ

注記

参考文献: 各章末

索引あり

内容説明・目次

目次

• 第１章　薄膜作製・評価・微細加工技術
• 第２章　酸化物薄膜成長
• 第３章　酸化物ダイオード
• 第４章　酸化物トンネル接合
• 第５章　酸化物超格子と２次元電子系
• 第６章　酸化物電界効果トランジスタ
• 第７章　酸化物薄膜の不揮発性メモリ応用

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB23435364
• ISBN:
  • 9784753623099
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: viii, 324p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.8
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : 薄膜
  • BSH : 酸化物
• 親書誌ID:
  • BB17739808