酸化物薄膜・接合・超格子 : 界面物性と電子デバイス応用
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酸化物薄膜・接合・超格子 : 界面物性と電子デバイス応用
（物質・材料テキストシリーズ / 藤原毅夫, 藤森淳, 勝藤拓郎監修）
内田老鶴圃, 2017.4
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酸化物薄膜接合超格子 : 界面物性と電子デバイス応用
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サンカブツ ハクマク・セツゴウ・チョウコウシ : カイメン ブッセイ ト デンシ デバイス オウヨウ
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Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University未来材料研
549.8||Sa12031637
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Note
参考文献: 各章末
索引あり
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第１章 薄膜作製・評価・微細加工技術
- 第２章 酸化物薄膜成長
- 第３章 酸化物ダイオード
- 第４章 酸化物トンネル接合
- 第５章 酸化物超格子と２次元電子系
- 第６章 酸化物電界効果トランジスタ
- 第７章 酸化物薄膜の不揮発性メモリ応用
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