酸化物薄膜・接合・超格子 : 界面物性と電子デバイス応用
著者
書誌事項
酸化物薄膜・接合・超格子 : 界面物性と電子デバイス応用
(物質・材料テキストシリーズ / 藤原毅夫, 藤森淳, 勝藤拓郎監修)
内田老鶴圃, 2017.4
- タイトル別名
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酸化物薄膜接合超格子 : 界面物性と電子デバイス応用
- タイトル読み
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サンカブツ ハクマク・セツゴウ・チョウコウシ : カイメン ブッセイ ト デンシ デバイス オウヨウ
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注記
参考文献: 各章末
索引あり
内容説明・目次
目次
- 第1章 薄膜作製・評価・微細加工技術
- 第2章 酸化物薄膜成長
- 第3章 酸化物ダイオード
- 第4章 酸化物トンネル接合
- 第5章 酸化物超格子と2次元電子系
- 第6章 酸化物電界効果トランジスタ
- 第7章 酸化物薄膜の不揮発性メモリ応用
「BOOKデータベース」 より