原子描画装置の開発

Author(s)

    • 宅間, 宏 タクマ, ヒロシ
    • 清水, 和子 シミズ, カズコ

Bibliographic Information

原子描画装置の開発

研究代表者 宅間博, 清水和子

（科学研究費補助金(基盤研究A)研究成果報告書, 平成7年度～平成8年度）

[電気通信大学], 1998.7

Title Transcription

ゲンシ ビョウガ ソウチ ノ カイハツ

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Note

課題番号: 07554012

研究代表者: 宅間宏(平成7年度)

研究代表者: 清水和子(平成8年度)

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Details

  • NCID
    BB26721949
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [調布]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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