原子描画装置の開発

著者

• 宅間, 宏 タクマ, ヒロシ
• 清水, 和子 シミズ, カズコ

書誌事項

原子描画装置の開発

研究代表者 宅間博, 清水和子

（科学研究費補助金(基盤研究A)研究成果報告書, 平成7年度～平成8年度）

[電気通信大学], 1998.7

タイトル読み

ゲンシ ビョウガ ソウチ ノ カイハツ

注記

課題番号: 07554012

研究代表者: 宅間宏(平成7年度)

研究代表者: 清水和子(平成8年度)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB26721949
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [調布]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA31816366