MEMSデバイス徹底入門 : 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ

著者

• 三田, 吉郎 ミタ, ヨシオ

書誌事項

MEMSデバイス徹底入門 : 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ

三田吉郎著

日刊工業新聞社, 2018.8

タイトル別名

Introduction to MEMS devices

つかうわかるつくるマイクロマシンセンサ

タイトル読み

MEMS デバイス テッテイ ニュウモン : 「ツカウ」 「ワカル」 「ツクル」 マイクロマシン・センサ

注記

"現実世界と情報世界を仲立ちする、情報処理回路の入出力の要「MEMSデバイス」。MEMSはどう使え、どう動き、どう作るのか、関連するスキルと知識を、豊富な実験例と平易な文章で解説する。"--TRC MARCによる

内容説明・目次

内容説明

これは、ただの解説本ではない！豊富な実験例と平易な文章でスキルと知識が自然と身に付く、初心者からベテランまで必携の一冊！

目次

• 第１章　ＭＥＭＳを“つかう”（電子情報機器の用途—どこでもＭＥＭＳの時代；電子情報機器の仕組み—入力と、情報処理と、出力をもつ電子回路；百聞は一見に如かず１—秋葉原で買ったＭＥＭＳ大集合　ほか）
• 第２章　ＭＥＭＳを“わかる”（百聞は一見に如かず２—ばね＋マス＝ＭＥＭＳ構造を理解する；ＭＥＭＳが加速度を感じる仕組み—マスとばねとの力の釣り合い；重なり変化で変位を検知—くし歯静電容量による読み出しの原理　ほか）
• 第３章　ＭＥＭＳを“つくる”（百聞は一見に如かず４—「実験用ＭＥＭＳ」で見るＭＥＭＳ構造と製法；フォトリソグラフィ大研究—ＭＥＭＳは「積んで、リソして、削って」作る；パターンを転写してＭＥＭＳを形作る—Ｄｅｅｐ　ＲＩＥ　ほか）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB26747228
• ISBN:
  • 9784526078712
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vi, 188p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 530
  • NDC9 : 530
  • NDC10 : 530
• 件名:
  • BSH : マイクロマシン