Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

著者

• Tilli, Markku
• Paulasto-Kröckel, Mervi
• Petzold, Matthias
• Theuss, Horst
• 本岡, 輝昭 モトオカ, テルアキ
• Lindroos, Veikko

書誌事項

Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

edited by Markku Tilli ... [et al.]

（Micro and nano technologies series）

Elsevier, c2020

3rd ed

• pbk.

注記

Other editors: Mervi Paulasto-Kröckel, Matthias Petzold, Horst Theuss, Teruaki Motooka, Veikko Lindroos

Includes bibliographical references and index

• NII書誌ID(NCID): BC0002373X
• ISBN:
  • 9780128177860
• 出版国コード: ne
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Amsterdam
• ページ数/冊数: xxix, 996 p.
• 大きさ: 28 cm
• 分類:
  • DC23 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Silicon
• 親書誌ID:
  • BB27879122