入門真空・薄膜・スパッタリング

著者

• Stuart, R. V.
• 毛利, 衛 モウリ, マモル
• 数坂, 昭夫 カズサカ, アキオ

書誌事項

入門真空・薄膜・スパッタリング

R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳

技報堂出版, 1985.10

タイトル別名

Vacuum technology, thin films, and sputtering

真空・薄幕・スパッタリング : 入門

タイトル読み

ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング

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• 入門真空・薄膜・スパッタリング

  1985

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN00148324
• ISBN:
  • 4765503585
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 原本言語コード: eng
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 2,2,3,145p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 534.93
  • NDLC : NB126
• 件名:
  • NDLSH : 真空工学
  • NDLSH : 薄膜