プラズマプロセシングの基礎

Author(s)

• Chapman, Brian N.
• 岡本, 幸雄 オカモト, ユキオ

Bibliographic Information

プラズマプロセシングの基礎

Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳

電気書院, 1985.11

Other Title

Glow discharge processes : sputtering and plasma etching

Title Transcription

プラズマ プロセシング ノ キソ

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• プラズマプロセシングの基礎

  1985

  NDL Digital Collections

  Limited

Note

Glow discharge processes, c1980 の翻訳

参考文献: p[357]-386

Details

• NCID: BN00319697
• ISBN:
  • 4485661180
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Original Language Code: eng
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 13, 391p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 427.6
  • NDLC : MC241
• Subject Headings:
  • NDLSH : プラズマ