電子・イオンビームハンドブック

著者

• 日本学術振興会第132委員会 ニホン ガクジュツ シンコウカイ ダイ132 イインカイ

書誌事項

電子・イオンビームハンドブック

日本学術振興会第132委員会編

日刊工業新聞社, 1986.9

第2版

タイトル別名

電子イオンビームハンドブック

タイトル読み

デンシ イオン ビーム ハンドブック

電子リソースにアクセスする 全1件

• 電子・イオンビームハンドブック

  1986

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

文献: 各章末

内容説明・目次

目次

• １　電子・イオンの軌道論（幾何光学）
• ２　軌道の数値解析
• ３　レンズ
• ４　偏向
• ５　電子銃
• ６　イオン源・イオン銃
• ７　走行時間効果とパルスビーム
• ８　ビーム系の測定
• ９　電子・イオンビームの照射効果
• １０　電子ビーム溶接
• １１　電子ビーム加工および記録
• １２　電子ビーム励起レーザ
• １３　電子・イオンビーム露光
• １４　電子・イオンビーム重合・分解
• １５　プラズマエッチング、反応性イオンエッチング
• １６　イオンビームエッチング、反応性イオンビームエッチング
• １７　スパッタ蒸着
• １８　イオンプレーティング
• １９　イオンビーム蒸着
• ２０　イオン注入
• ２１　電子・イオンプローブ

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN00351204
• ISBN:
  • 4526020745
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 4, xiii, 690, viiip
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.1
  • NDLC : ND2
  • NDLC : ND357
• 件名:
  • BSH : 電子流 -- 便覧
  • NDLSH : 電子流