電子・イオンビームハンドブック

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電子・イオンビームハンドブック

日本学術振興会第132委員会編

日刊工業新聞社, 1986.9

第2版

Other Title

電子イオンビームハンドブック

Title Transcription

デンシ イオン ビーム ハンドブック

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Available at  / 93 libraries

Note

文献: 各章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • １　電子・イオンの軌道論（幾何光学）
  • ２　軌道の数値解析
  • ３　レンズ
  • ４　偏向
  • ５　電子銃
  • ６　イオン源・イオン銃
  • ７　走行時間効果とパルスビーム
  • ８　ビーム系の測定
  • ９　電子・イオンビームの照射効果
  • １０　電子ビーム溶接
  • １１　電子ビーム加工および記録
  • １２　電子ビーム励起レーザ
  • １３　電子・イオンビーム露光
  • １４　電子・イオンビーム重合・分解
  • １５　プラズマエッチング、反応性イオンエッチング
  • １６　イオンビームエッチング、反応性イオンビームエッチング
  • １７　スパッタ蒸着
  • １８　イオンプレーティング
  • １９　イオンビーム蒸着
  • ２０　イオン注入
  • ２１　電子・イオンプローブ

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Details

  • NCID
    BN00351204
  • ISBN
    • 4526020745
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    4, xiii, 690, viiip
  • Size
    22cm
  • Classification
  • Subject Headings
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