半導体プラズマプロセス技術

著者

• 菅野, 卓雄 スガノ, タクオ

書誌事項

半導体プラズマプロセス技術

菅野卓雄編著

（集積回路プロセス技術シリーズ）

産業図書, 1980.7

タイトル読み

ハンドウタイ プラズマ プロセス ギジュツ

注記

各章末:参考文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN0059785X
• ISBN:
  • 4782856210
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 6, 373p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC6 : 549.7
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路
• 親書誌ID:
  • BN00597860