微細加工

著者

• 半導体研究振興会 ハンドウタイ ケンキュウ シンコウカイ

書誌事項

微細加工

半導体研究振興会編

（半導体研究 / 半導体研究振興会編, 14 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 1）

工業調査会, 1977.12

タイトル読み

ビサイ カコウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN00697901
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 9, 376p
• 大きさ: 27cm
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
• 親書誌ID:
  • BN00178314