シリコンの物性と評価法
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シリコンの物性と評価法
（電子材料シリーズ）
丸善, 1987.7
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シリコン ノ ブッセイ ト ヒョウカホウ
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シリコンの物性と評価法
1987
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シリコンの物性と評価法
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Note
文献: 章末
参考書: p[243]〜244
その他の共著者: 白木靖寛, 齋木幸一郎, 飯田厚夫
Description and Table of Contents
Description
２０世紀を象徴する物質、それは粉れもなくシリコンだと言うことができよう。本書は、この恵まれた資質を持つ魅力的な物質シリコンに興味を抱き、それを理解し、使いこなそうという人達のために書かれたものである。実際に、材料について悩み、発展に努力している方々によって書かれているので読者は、問題解決のための指針を得ると同時に、単に解説には終らない、材料に対する著者らの熱い思いも感じとれるであろう。
Table of Contents
- １ 物性（シリコン結晶と格子欠陥；シリコンの電子物性；表面と界面）
- ２ 評価法（結晶の完全性の評価；微量不純物の分析；電気特性の評価；表面・界面の評価）
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