電子材料シリーズ
著者
書誌事項
電子材料シリーズ
丸善, 1986.6-[1988.1]
- タイトル読み
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デンシ ザイリョウ シリーズ
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注記
予定では全10冊. 8冊既刊で、2冊は未刊: シリコン結晶とドーピング(1986.6); VLSIデバイスの物理(1986.7); VLSIの薄膜技術(1986.9); フェライト(1986.11); シリコンの物性と評価法(1987.7); サブミクロンデバイス 1-2(1987.7-1988.1); ガリウムヒ素(1988.1); アモルファスシリコン(未刊); 混晶半導体と超格子(未刊)--(1992.9現在のシリーズ広告による)