微細加工とレジスト

Author(s)

• 野々垣, 三郎 ノノガキ, サブロウ

Bibliographic Information

微細加工とレジスト

野々垣三郎著

（高分子新素材one point / 高分子学会編, 3）

共立出版, 1987.11

Title Transcription

ビサイ カコウ ト レジスト

Description and Table of Contents

Table of Contents

• １．　レジストを使う微細加工（写真製版技術；半導体用レジストに要求される特性）
• ２．　フォトレジスト
• ３．　電子線レジスト（電子線を使う微細加工；電子線を使う微細加工の解像限界）
• ４．　Ｘ線レジスト（Ｘ線を使う微細加工；Ｘ線を使う微細加工の解像限界）
• ５．　将来展望（フォトレジストの将来；電子線レジストの将来；Ｘ線レジストの将来）

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Details

• NCID: BN01734322
• ISBN:
  • 4320042271
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: iv, 99p
• Size: 19cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC7 : 549.8
• Subject Headings:
  • BSH : 集積回路
  • NDLSH : 集積回路
  • NDLSH : 電子光学
• Parent Bibliography ID:
  • BN01106647