真空蒸着

著者

• Schiller, Siegfried
• Heisig, Ullrich
• 日本真空技術 ニホン シンクウ ギジュツ

書誌事項

真空蒸着

ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳

アグネ, 1977.5

タイトル別名

Bedampfungs-technik : verfahren Einrichtungen Anwendungen

タイトル読み

シンクウ ジョウチャク

注記

文献:p139〜144

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN02783006
• ISBN:
  • 4750704091
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 原本言語コード: ger
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 144p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC6 : 549
  • NDLC : ND351
• 件名:
  • NDLSH : 薄膜