機能薄膜プロセス技術集成
南日康夫,相沢益男編
リアライズ社, 1986.1
キノウ ハクマク プロセス ギジュツ シュウセイ
青山学院大学 万代記念図書館(相模原分館)
880606168
OPAC
石巻専修大学 図書館開架
549:N480000004770
大阪大学 附属図書館 総合図書館
08926013015
大阪大学 附属図書館 理工学図書館
08671000563
九州大学 理系図書館
549/N 48068251185016687
神戸大学 附属図書館 自然科学系図書館
428-0-140008606062
国立研究開発法人 産業技術総合研究所 中部センター 図書室図書
6230003778
東京理科大学 神楽坂図書館工化
549||N 4800209863
東洋大学 附属図書館 川越図書館
0306222324
名古屋大学 工学 図書室工電子
549||N10988673
新潟大学 附属図書館図
549//N481085165809
八戸工業大学 図書館
549-N103537
兵庫県立大学 姫路工学学術情報館図
549|| ||0225110144460
和歌山工業高等専門学校 図書館
094125
各章末:参考文献