機能薄膜プロセス技術集成

著者

• 南日, 康夫 ナンニチ, ヤスオ
• 相澤, 益男 アイザワ, マスオ

書誌事項

機能薄膜プロセス技術集成

南日康夫,相沢益男編

リアライズ社, 1986.1

タイトル読み

キノウ ハクマク プロセス ギジュツ シュウセイ

注記

各章末:参考文献

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN02875228
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 421p
• 大きさ: 31cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 薄膜