精密位置決め技術 : その設計テクニック

著者

• 井沢, 実 イザワ, ミノル

書誌事項

精密位置決め技術 : その設計テクニック

井沢実編著

工業調査会, 1989.4

タイトル読み

セイミツ イチギメ ギジュツ : ソノ セッケイ テクニック

内容説明・目次

目次

• 第１編　総論（精密位置決めの意義と問題点）
• 第２編　精密位置決め系の構成要素（アクチュエータ；運動伝達要素；案内用要素；位置検出用要素）
• 第３編　精密位置決めのための制御系（制御方式と特長；制御系の実際）
• 第４編　精密位置決めの主な問題点と対策（振動問題と対策；剛性の問題と対策）
• 第５編　精密位置決めの設計例（ＳＴＭ〈走査型トンネル顕微鏡〉；非球面加工機；光ディスクマスタリング装置；半導体製造用装置；精密測定器〈真円度測定器〉）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN0336339X
• ISBN:
  • 476932085X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 362p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 548.3
  • NDLC : M131
• 件名:
  • NDLSH : 自動制御