薄膜材料工学

著者

• 北田, 正弘 キタダ, マサヒロ
• 入戸野, 修 ニットノ, オサム
• 大坂, 敏明 オオサカ, トシアキ

書誌事項

薄膜材料工学

北田正弘, 入戸野修, 大坂敏明編著

海文堂出版, 1989.11

タイトル別名

薄膜材料工学

タイトル読み

ハクマク ザイリョウ コウガク

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• 薄膜材料工学

  1989

  NDLデジタルコレクション

  限定公開

注記

文献: 各章末

内容説明・目次

目次

• 第１章　薄膜の特徴
• 第２章　薄膜の形成法
• 第３章　薄膜の形成過程
• 第４章　薄膜の基礎物性
• 第５章　薄膜の構造と欠陥
• 第６章　薄膜の評価法
• 第７章　金属薄膜とその応用
• 第８章　半導体薄膜とその応用
• 第９章　セラミックス薄膜とその応用
• 第１０章　高分子薄膜とその応用

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN04012255
• ISBN:
  • 4303712604
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vi, 254p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 501.4
  • NDC8 : 549
  • NDLC : ND354
• 件名:
  • BSH : 薄膜
  • NDLSH : 電子部品