薄膜材料工学
著者
書誌事項
薄膜材料工学
海文堂出版, 1989.11
- タイトル別名
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薄膜材料工学
- タイトル読み
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ハクマク ザイリョウ コウガク
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注記
文献: 各章末
内容説明・目次
目次
- 第１章 薄膜の特徴
- 第２章 薄膜の形成法
- 第３章 薄膜の形成過程
- 第４章 薄膜の基礎物性
- 第５章 薄膜の構造と欠陥
- 第６章 薄膜の評価法
- 第７章 金属薄膜とその応用
- 第８章 半導体薄膜とその応用
- 第９章 セラミックス薄膜とその応用
- 第１０章 高分子薄膜とその応用
「BOOKデータベース」 より