電子顕微鏡で観るLSIの世界 : LSIはこうして生まれる

書誌事項

電子顕微鏡で観るLSIの世界 : LSIはこうして生まれる

裏克己, 藤岡弘編

日刊工業新聞社, 1990.11

タイトル読み

デンシ ケンビキョウ デ ミル LSI ノ セカイ : LSI ワ コウシテ ウマレル

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内容説明・目次

目次

  • 写真編(LSIの素顔;LSIの出来るまで;電子顕微鏡でLSIの動作を観る;電子顕微鏡装置)
  • 解説編(LSIの素顔;LSIの出来るまで;電子顕微鏡でLSIの動作を観る;最近のトピックス)

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BN05706351
  • ISBN
    • 4526028290
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    111p
  • 大きさ
    27cm
  • 分類
  • 件名
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