新LSI工学入門

著者

• 右高, 正俊 ミギタカ, マサトシ

書誌事項

新LSI工学入門

右高正俊著

オーム社, 1992.3

タイトル読み

シン LSI コウガク ニュウモン

注記

参考文献: p[239]-240

内容説明・目次

内容説明

ＬＳＩの基本から加工技術まで平易に解説した標準テキスト。ＬＳＩのすべてについて体系的に。半導体技術の中心、ＬＳＩプロセスをわかりやすく図・表を豊富に用いて解説。

目次

• １章　概論（トランジスタの発明；集積回路の発明；ＬＳＩプロセス工学とは）
• ２章　ＬＳＩ構成要素の基本的働き
• ３章　ＬＳＩ構成部品の電気的性質
• ４章　ＬＳＩ製造の要素技術
• ５章　ＬＳＩ用微細加工技術—リソグラフィ技術
• ６章　ＬＳＩプロセス概要—豊田工業大学における実践例を中心として
• ７章　ＬＳＩプロセスを支える技術—豊田工業大学での実例を中心に

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BN07594838
• ISBN:
  • 4274033910
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vii, 249p, 図版2p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC7 : 549.8
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • BSH : 集積回路
  • NDLSH : 集積回路