マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス

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マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス

江刺正喜 [ほか] 共著

培風館, 1992.6

Title Transcription

マイクロ マシーニング ト マイクロ メカトロニクス

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Note

各章末: 文献

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • １　マイクロマシーニング
  • ２　マイクロフィジックス
  • ３　マイクロメカニカルセンサ
  • ４　マイクロアクチュエータとマイクロメカニズム
  • ５　マイクロメカトロニクス（「まめ」）システム
  • ６　応用
  • ７　将来動向と課題

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Details

  • NCID
    BN07756678
  • ISBN
    • 4563034703
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    vi, 254p
  • Size
    27cm
  • Classification
  • Subject Headings
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