薄膜
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薄膜
(実験物理学講座 / 近角聡信 [ほか] 企画編集, 8)
共立出版, 1992.9
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ハクマク
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実験物理学講座 (8)
1992
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実験物理学講座 (8)
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注記
文献: 各章末
執筆者: 末澤慶孝ほか
内容説明・目次
目次
- 1 薄膜製作技術(真空蒸着法;プラズマやイオンを用いた成膜法;スパッタ法;化学的方法)
- 2 薄膜(導電体薄膜;誘電体薄膜;半導体薄膜;磁性薄膜;超伝導薄膜;人工格子膜;薄膜製作技術補遺)
「BOOKデータベース」 より