薄膜化技術
著者
書誌事項
薄膜化技術
共立出版, 1992.9
第2版
- タイトル読み
-
ハクマクカ ギジュツ
大学図書館所蔵 全76件
  青森
  岩手
  宮城
  秋田
  山形
  福島
  茨城
  栃木
  群馬
  埼玉
  千葉
  東京
  神奈川
  新潟
  富山
  石川
  福井
  山梨
  長野
  岐阜
  静岡
  愛知
  三重
  滋賀
  京都
  大阪
  兵庫
  奈良
  和歌山
  鳥取
  島根
  岡山
  広島
  山口
  徳島
  香川
  愛媛
  高知
  福岡
  佐賀
  長崎
  熊本
  大分
  宮崎
  鹿児島
  沖縄
  韓国
  中国
  タイ
  イギリス
  ドイツ
  スイス
  フランス
  ベルギー
  オランダ
  スウェーデン
  ノルウェー
  アメリカ
この図書・雑誌をさがす
注記
各章末: 文献
折り込図1枚
内容説明・目次
目次
- 第1部 薄膜とその応用(薄膜材料;薄膜の形成法と評価;スパッタプロセスにおける興味ある現象)
- 第2部 スパッタの基礎と応用(スパッタの基礎;スパッタ装置と動作特性;化合物薄膜とスパッタ蒸着)
「BOOKデータベース」 より