薄膜化技術
著者
書誌事項
薄膜化技術
共立出版, 1992.9
第2版
- タイトル読み
-
ハクマクカ ギジュツ
大学図書館所蔵 件 / 全76件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
各章末: 文献
折り込図1枚
内容説明・目次
目次
- 第１部 薄膜とその応用（薄膜材料；薄膜の形成法と評価；スパッタプロセスにおける興味ある現象）
- 第２部 スパッタの基礎と応用（スパッタの基礎；スパッタ装置と動作特性；化合物薄膜とスパッタ蒸着）
「BOOKデータベース」 より
