薄膜化技術

Author(s)

• 和佐, 清孝 ワサ, キヨタカ
• 早川, 茂 ハヤカワ, シゲル

Bibliographic Information

薄膜化技術

和佐清孝, 早川茂著

共立出版, 1992.9

第2版

Title Transcription

ハクマクカ ギジュツ

Note

各章末: 文献

折り込図1枚

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１部　薄膜とその応用（薄膜材料；薄膜の形成法と評価；スパッタプロセスにおける興味ある現象）
• 第２部　スパッタの基礎と応用（スパッタの基礎；スパッタ装置と動作特性；化合物薄膜とスパッタ蒸着）

by "BOOK database"

Details

• NCID: BN0799835X
• ISBN:
  • 4320084977
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: viii, 282p
• Size: 22cm
• Classification:
  • NDC8 : 549.8
  • NDLC : ND371
• Subject Headings:
  • NDLSH : 薄膜