防振制御ハンドブック
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書誌事項
防振制御ハンドブック
フジ・テクノシステム, 1992.12
- タイトル読み
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ボウシン セイギョ ハンドブック
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注記
索引: p997-1009
編集委員: 秋元將男ほか
執筆者: 大熊恒靖ほか
各章末: 参考・引用文献
内容説明・目次
内容説明
本書は、所謂シリコンのマイクロマシニングなどによる革新的な技術にその内容。
目次
- 第１編 基礎論（要素技術；材料）
- 第２編 微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工；機械部品加工のためのエッチング；真空蒸着；イオンプレーティング；ＣＶＤ、気相成長法；スパッタリング法；エッチング；シンクロトロン放射光等）
- 第３編 マイクロメカニズムの要素（コンベンショナルな手法によるマイクロ機械要素；新しい手法によるマイクロ機械要素；微小量の測定および評価）
- 第４編 マイクロメカニズム事例（センサ；マイクロメカニズム；バイオ・医学用への応用）
「BOOKデータベース」 より
